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    干式真空泵

    【摘要】:
    干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面: 1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中; 2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒; 3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求; 4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵; 5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

    干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:

    1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

    2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

    3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;

    4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;

    5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。